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          潔凈度控制方案

          ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區)及相關受控環境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。根據粒子徑,可以劃分為常規粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

          空氣潔凈度分級標準: ISO14644-1 (國際標準)

          空氣潔凈度等級(N)

          大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)

          0.1 um

          0.2 um

          0.3 um

          0.5um

          1um

          5 um

          ISO Class 1

          10

          2





          ISO Class 2

          100

          24

          10

          4

          ISO Class 3

          1 000

          237

          102

          35

          8

          ISO Class 4

          10 000

          2 370

          1 020

          352

          83

          ISO Class 5

          100 000

          23 700

          10 200

          3 520

          832

          29

          ISO Class 6

          1 000 000

          237 000

          102 000

          35 200

          8 320

          293

          ISO Class 7


          352 000

          83 200

          2 930

          ISO Class 8


          3 520 000

          832 000

          29 300

          ISO Class 9


          35 200 000

          8 320 000

          293 000

          注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平。

          空氣潔凈度分級標準: GB/T16292-1996 (中國標準)

          粒徑、數值潔凈度級別

          塵埃最大允許數/立方米

          微生物最大允許數

          ≥0.5um

          ≥5um

          浮游菌/立方米

          沉降菌/皿

          100 級

          3,500

          0

          5

          1

          10,000 級

          350,000

          2,000

          100

          3

          100,000 級

          3,500,000

          20,000

          500

          10

          300,000 級

          10,500,000

          60,000

          15

           

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